SDA系列『風冷型乾式真空泵浦』

風冷型設計，無須外接冷卻水，安裝簡易、快速    

占地空間小、應用範圍彈性大                   

螺旋乾式設計：節能、無廢水(油)、真空效率高  

1. 抽速快，真空度高：终极压力可达  7.5x10-3 torr (1Pa)  。      
2. 制程洁净度高：泵腔内无水无油，避免制程物受油(水)气反流污染。
3. 排污能力强：螺杆具有良好输送能力，能有效将制程物排出泵外。
4. 应用范围广：适用于含有部分水气、粉尘、酸碱气体等制程。
5. 节能兼具环保：低耗功、运转中无废水、废油产生。