SDA系列『風冷型乾式真空泵浦』

風冷型設計，無須外接冷卻水，安裝簡易、快速    

占地空間小、應用範圍彈性大                   

螺旋乾式設計：節能、無廢水(油)、真空效率高  

1. 抽速快，真空度高：終極壓力可達  7.5x10-3 torr (1Pa)  。      
2. 制程潔淨度高：泵腔內無水無油，避免制程物受油(水)氣反流污染。
3. 排汙能力強：螺杆具有良好輸送能力，能有效將制程物排出泵外。
4. 應用範圍廣：適用於含有部分水氣、粉塵、酸堿氣體等制程。
5. 節能兼具環保：低耗功、運轉中無廢水、廢油產生