SDA50/75/RSA601

SDA系列『風冷型乾式真空泵浦』

風冷型設計,無須外接冷卻水,安裝簡易、快速    

占地空間小、應用範圍彈性大                   

螺旋乾式設計:節能、無廢水(油)、真空效率高  

 

  1. 抽速快,真空度高:終極壓力可達  7.5x10-3 torr (1Pa)  。      
  2. 制程潔淨度高:泵腔內無水無油,避免制程物受油(水)氣反流污染。
  3. 排汙能力強:螺杆具有良好輸送能力,能有效將制程物排出泵外。
  4. 應用範圍廣:適用於含有部分水氣、粉塵、酸堿氣體等制程。
  5. 節能兼具環保:低耗功、運轉中無廢水、廢油產生