1. 極限真空度高

  單泵終極壓力可達7.5x10-3 torr以上。

2. 節能兼具環保 

   低耗功，無廢水、廢油產生。

3.  製程潔淨度高 

   泵腔內無水、無油，製程物不受水氣、油氣污染。

4.  排汙能力強 

    螺旋轉子具良好輸送功能，能有效將製程排出泵浦外。

5.  應用範圍廣

    適用於含有水氣及酸鹼氣體製程。

1.進氣口 Inlet

2.排氣口 Exhaust

3.同步齒輪 Timing Gear

4.潤滑油 Oil

5.軸承 Bearings

6.螺旋轉子 Screw Rotor

7.冷卻水套 Water Jacket

8.軸封 Shaft seals

9.阻隔氣體 Barrier gas

10.稀釋氣體 Dilution gas

11.聯軸器 Coupling