• 腔体内无油无水，可获得最干净真空

• 真空制程中无废油废水产生

• 能抽除含有水气与粉尘的制程

• 抽速快，真空度高  (7.5x10^-3  torr)

• 适用产业：生技制药、电子/光电产业、食品工业  

产品特色：  

1. 结构设计100%比照化工客户、严苛制程等级的设备需求：

【1】高/低端皆采用双道轴封保护设计(Lip seal)：加强阻隔制程物污染油箱，延长维护保养时间。

【2】转子采合金钢圆棒一体成型加工，强度高，无砂孔，非一般铸造成型。 

【3】机壳，端板使用高密度合金铸铁制作，耐磨，抗腐蚀能力提升。

【4】保护镀层选用杜邦铁氟龙涂料，膜厚足，包覆力强，有效隔绝腐蚀性物质。

2. 真空泵浦为100%为锐升设计制造，零件备料充足，服务迅速。

3. 可针对特殊制程需求，提供客制化镀层的处理方案。

4. 原有机型SD160 、RS1302，亦同步提供水冷马达、人机操作接口、外罩钣金规格选配。