单泵终极压力可达7.5x10-3 torr以上。
2. 节能兼具环保
低耗功，无废水、废油产生。
3. 制程洁净度高
泵腔内无水、无油，制程物不受水气、油气污染。
4. 排污能力强
螺旋转子具良好输送功能，能有效将制程排出泵浦外。
5. 应用范围广
适用于含有水气及酸碱气体制程。
1. 进气口 6 .螺旋转子
2. 排气口 7. 冷却水套
3. 同步齿轮 8. 轴封
4. 润滑油 9. 阻隔气体
5. 轴承 10. 稀释气体
6. 螺旋转子 11. 联轴器
7. 冷却水套
